Prípadová štúdia: Prelom v spracovaní substrátu z kremenného skla
Predmet spracovania: substrát z kremenného skla pre fotolitografiu
špecifikácie:
Materiál: 99,99 %-kremenné sklo vysokej čistoty
Vlastnosti spracovania: obojstranné-skosenie C0,2 + vertikálna bočná stena
Požiadavky na povrch: Ra < 150nm (zrkadlová kvalita)
Rozmery: 145 × 145 × 5,5 mm ± 0,01 mm
Analýza bolestivých bodov priemyselného spracovania
Ako hlavný spotrebný materiál zariadení na výrobu polovodičov musia kremenné diely pre fotolitografiu súčasne spĺňať tri prísne normy: priepustnosť materiálu > 99,6 %, rozmerová tolerancia ±10 μm a drsnosť bočnej steny Ra < 150 nm. Tradičná metóda spracovania využíva proces brúsenia brúsnym kotúčom, ktorý má dva hlavné priemyselné problémy:
Prekážka účinnosti: Spracovanie jedného-kusu trvá až 120 minút
Povrchové chyby: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Strata nástroja: životnosť bežného nástroja je menej ako 50 kusov
BISHENtechnologická inovácia riešení
Vzhľadom na tvrdé a krehké vlastnosti kremenných materiálov, kompozitspracovateľský roztokje prijaté:
• 20kHz ultrazvukový presný gravírovací a frézovací systém
• Integrovaná PCD mikro{0}}nožová fréza (hrana R0,05 mm)
• Proces axiálneho vrstveného rezania (2 μm na vrstvu)
Porovnanie nameraných výhod spracovania
Prostredníctvom overovania a porovnávania procesov sa výrazne zlepšili kľúčové ukazovatele:
Hodnota priemyselnej aplikácie
Toto riešenie úspešne vyriešilo problém spracovania „úzkeho miesta“ v procese lokalizácie častí litografických strojov, zvýšilo kapacitu výroby kremenného substrátu z 10 kusov za deň na 50 kusov a mieru kvalifikácie spracovania zo 63 % na 98,5 %. Podľa detekcie laserového interferometra Zeiss je presnosť povrchu spracovania PV hodnota<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
Bishen Precisionsa špecializuje na presné spracovanie hardvérových dielov so 7 500 štvorcovými metrami štandardizovaných dielní a jej služby pokrývajú kozmonautiku, lekárske vybavenie, priemyselné roboty a ďalšie oblasti. Vďaka schopnosti spracovávať zložité konštrukčné diely a certifikácii systému ISO poskytuje zákazníkom kompletné-procesné riešenia od návrhu a vývoja až po sériovú výrobu.
