Analýza objektu spracovania
Materiál: kremenné sklo optickej kvality
Vlastnosti spracovania: viac{0}}plošné obrysové brúsenie (vrátane 3 asymetrických faziet)
Kľúčové rozmery: 16 × 16 × 10 mm (chyba ± 0,002 mm)
Tento kremenný hranol, ktorý má len veľkosť nechtu, je hlavným svetelným-prvkom optického systému domáceho špičkového-litografického stroja. Jeho 8 komplexne zakrivených povrchov musí dosiahnuť 99,6 % priepustnosť a presnosť lomu na-úrovni nanometrov a drsnosť povrchu priamo ovplyvňuje expozičné rozlíšenie litografického stroja.
Problémové body odvetvia a technické ťažkosti
Spoločnosť zaoberajúca sa optickou technológiou sa pri presadzovaní lokalizácie litografických strojov stretla s prekážkou spracovania kremenných hranolov:
Tradičné chyby brúsenia: Drsnosť po ručnom leštení stále dosahuje Sa 120nm, čo vedie k 15% strate rozptylu svetla
Závislosť vybavenia od dovozu: Cena jednej japonskej ultra{0}}presnej brúsky presahuje 20 miliónov juanov a dodacia lehota je až 18 mesiacov
Výnosová kríza: Iba 32 z prvej série 500 skúšobných produkcií spĺňalo normy, čo vážne spomalilo postup projektu
Dilema „nemôžem si dovoliť dovážané vybavenie a domáce procesy nie sú dobré“ priamo blokovala proces nezávislého vývoja litografických strojov.
BISHENriešenie
V reakcii na extrémne požiadavky na presnosť optických komponentov vyvinul technický tím BISHEN inovatívny výskum a vývoj:
1. Ultrazvukový vertikálny päť{2}}systém spracovania spojenia
Dynamická kompenzácia na úrovni 2. 0.1μm{1}}, presné ovládanie 18-osových spojovacích obrábacích strojov
3. Inteligentné programovanie CAD/CAM s asymetrickým povrchom
4. Vysokofrekvenčná-technológia brúsenia pomocou ultrazvuku
5. 40kHz ultrazvukové vibrácie znižujú o 52 % namáhanie pri rezaní a vyhýbajú sa kremenným mikrotrhlinám
6. Životnosť diamantového mikro-práškového brúsneho kotúča je predĺžená 3-krát
Skutočný nameraný výkonnostný skok
V hromadnej výrobe určitého typu hranolu domáceho litografického stroja sa dosiahli tri hlavné prelomy:
1. Kvalita povrchu: Drsnosť Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Efektivita spracovania: Pracovná doba jedného-kusu je skrátená zo 14 hodín na 3,5 hodiny
3. Kontrola nákladov: Investície do vybavenia predstavujú iba 1/5 dovážaného riešenia
Výťažnosť prvej série 3 000 produktov vyskočila na 98,7 %, čo zákazníkom pomáha dokončiť montáž prototypov 6 mesiacov pred plánovaným termínom
OBISHEN
BISHENPrecision Technology (založená v roku 2017) sa zameriava na prelomenie „úzkych“ technológií v oblasti špičkovej-výroby. V Dongguane vybudovala digitálnu továreň s rozlohou 7 500 metrov štvorcových vybavenú dovezenými zoskupeniami zariadení, ako sú päť{5}}osové spojovacie obrábacie centrá a ultra-precízne optické brúsky. Aplikáciou inovatívnych technológií, ako je ultrazvukové obrábanie a kryogénne rezanie na polovodičové zariadenia, optoelektronické prístroje a ďalšie oblasti, poskytla riešenia spracovania kľúčových dielov pre viac ako 20 domácich spoločností v reťazci litografických strojov a dodala viac ako 500 000 presných optických komponentov.
