Vo svete výroby polovodičových zariadeníkvalita povrchu nie je len o estetike,{0}}ide o funkciu, dlhú životnosť a presnosť. Komponenty ako doštičkové skľučovadlá, držiaky šošoviek a presné vodidlá musia spĺňať nielen rozmerové tolerancie, ale ajextrémne požiadavky na povrchovú úpravu, často nižšieRa 0,1 μm.
Prečo je povrchová úprava na{0}}úrovni nanometrov dôležitá
Vysoko{0}}výkonné polovodičové zariadenia sa vo veľkej miere spoliehajú na presnosť kontaktov a kompatibilitu s čistými priestormi. Drsnosť povrchu presahujúca prahové hodnoty nanometrov môže:
Zasahovať dopresnosť umiestnenia plátku
Zvýšiťtrenie a opotrebovaniepočas pohybu
Príčinarozptyl optického signálu, ovplyvňujúce fotolitografiu
Vytvortelapače častíczvyšuje riziko kontaminácie
Napríklad apodporný krúžok doštičkys drsnosťou povrchu nad špecifikáciou môže spôsobiť mikro-vibrácie, čím sa zníži presnosť polohovania a zníži sa výťažnosť.
Výzva v oblasti CNC obrábania
Dosiahnutie povrchovej úpravy Ra Menšej alebo rovnej 0,1 μm ďaleko presahuje štandardné CNC procesy. Tradičné nástroje a parametre za sebou často zanechávajú mikro-škrabance, stopy po obrábaní alebo zvyškové napätie-, ktoré sú v polovodičovom prostredí neprijateľné.
Náš prístup k nanometrovej{0}}úrovni kvality
OBISHEN Presnosťsme vyvinuli pracovné postupy obrábania špeciálne pre povrchové-aplikácie:
Použitieultra{0}}jemnozrnné karbidové nástrojes vlastnou geometriou
Leštenie pasovintegrované do finálnych dráh nástroja
Systémy riadenia chladiacej kvapalinyaby ste sa vyhli teplom-mikro{1}}roztrhnutiu spôsobenému teplom
Koordinácia sCMM a interferometre-bieleho svetlana potvrdenie drsnosti
Každý diel sa podrobuje viacstupňovej{0}}kontrole nielen na rozmerové tolerancie, ale aj nasub{0}}mikrónová povrchová konzistenciacez všetky kontaktné roviny.
Skutočné puzdro: Zrkadlové{0}}dokončené podperné dosky na oblátky
Klient požadoval hliníkové doštičky s povrchovou úpravou lepšou akoRa 0,05 μm, rovnomerné v celom zariadení. Použitím optimalizovaných-technik vysokorýchlostného dokončovania a vlastných stratégií leštenia sme dodali komponenty, ktoré presahujú špecifikácie-pripravené na montáž na úrovni EUV-v čistých priestoroch.
Nedovoľte, aby povrchová úprava podkopala váš systém
Nedokonalosť povrchu v nanoúrovni môže potichu ohroziť vaše najpresnejšie mechanizmy. Ak si to vaša aplikácia vyžadujepovrchová úprava optickej-triedy, alebovynikajúci trecí výkon, porozprávajte sa s nami. Pomôžeme zabezpečiť, aby vaše diely spĺňali obojetolerancieatextúra.
