V polovodičovom priemysle,presnosť na úrovni mikrónov-nie je luxus-je to základ. Komponenty použité vsystémy na manipuláciu s plátkami, leptacie komory, afotolitografické nástrojevyžadovaťrozmerové toleranciečasto pod 5 mikrónov. Tradičné metódy CNC obrábania sa snažia splniť takéto požiadavky bez špecializovanej kontroly procesov a metrológie.
Výzva: Keď na mikrónoch záleží
Na rozdiel od konvenčných priemyselných dielov musia polovodičové komponenty:
Udržiavaťextrémna rovinnosť a rovnobežnosť
Maťpresné zarovnanie a rozstup otvorov
Zabezpečiťminimálne povrchové chybyktoré by mohli ovplyvniť vákuum alebo optický výkon
Aj najmenšia odchýlka môže viesť k:
Nesprávne zarovnanie počas prenosu plátku
Strata presnosti pri projekcii fotomasky
Strata výnosu v dôsledku znečistenia alebo geometrického posunu
Skutočný{0}}svetový príklad: Litografické rámy nástrojov
V jednom projekte zahŕňajúcom aľahký rám z hliníkovej zliatinypre fotolitografický systém,tolerancia pod 5 μmbolo potrebné na montážnych plochách zabezpečiťdokonalé zarovnanie prekrytiačipových vzorov.
Aby sme to dosiahli, použili sme:
5-osové CNC obrábanie s tepelnou kompenzáciou
Nízke-vibrácie, vysoká{1}}rýchlosť ovládania vretena
Dimenzionálne sondovanie{0} v reálnom čase a spätná väzba
Bez takejto presnosti by posun len o 10 μm mohol narušiť zarovnanie masky a znížiť výťažnosť čipu-, čo by klienta stálo značné prestoje a straty materiálu.
Náš proces naBISHEN Presnosť
Dodávame polovodičovým výrobcom OEM s:
Mimoriadne{0}}presné CNC frézovanie a sústruženie (opakovateľnosť ±2~5μm)
Ra Povrchová úprava menšia alebo rovná 0,2 μmpre kritické tesnenia alebo optické zóny
Obal kompatibilný s-čistými priestormi
Kontrola CMM a laserového skenovania s vysledovateľnými správami
Náš tím rozumiekritickosť každého mikrónu-a podporuje to skúsenosťami s poskytovaním služieb výskumu a vývoja, ako aj vysoko-mixov a malých{2}}produkčných prostredí.
Prečo na tom záleží
Vo výrobe polovodičov je geometria všetkým. Akékoľvek skreslenie, nesúlad alebo otrepy môžu mať za následok:
Skreslenie vzoru
Chyby pri manipulácii s plátkami
Porucha vákuového systému
Presné obrábanie nie je len o prísnych toleranciách,{0}}ide o zabezpečeniefunkčnosť a spoľahlivosťzariadení na výrobu čipov novej{0}}generácie.
