Jeden z našich zákazníkov v oblasti polovodičov-OEM{1}}so sídlom v EÚ, ktorý sa špecializuje na litografiu EUV-nás oslovil s výzvou: vyrobiť vysokú-hustotumikrokanálová chladiaca doskavyrobené z hliníka 6061-T6. Komponent požadovaný cez1 200 mikro-otvorov, každýØ 0,18 mm, s apomer hĺbky-k-priemeru 10:1, apresnosť polohy pod ±5 μmpo celom povrchu dielu.
Kľúčové výzvy zahŕňali:
Zlomenie nástrojakvôli extrémnym pomerom strán
Udržiavaniepriamosť otvorupri veľkých hĺbkach vŕtania
Zabezpečenieevakuácia čipovbez deformácie mikro-otvorov
Prevenciatepelné skresleniepri nepretržitom vŕtaní
Na riešenie týchto problémov sme použili:
Špecializované mikro-vrtákys vnútornými kanálmi chladiacej kvapaliny
Viac{0}}krokovstratégie peck drillings ovládaním zotrvania a zatiahnutia
Ultrazvukové-splachovanieaby sa zabezpečilo uvoľnenie triesok
Prebieha -spracovanietepelná stabilizáciamedzi prechodmi na kontrolu expanzie
Po viacerých iteráciách a simuláciách sme implementovali a2-prechodový proces vŕtania a vystružovaniačím sa dosiahla konzistentná geometria otvorov a vnútorné povrchy-bez otrepov. Po-kontrole obrábania pomocou a500× digitálny mikroskopaCMM so skenovaním sondoupotvrdené:
Všetky diery vo vnútri±3 μmtolerančné pásmo
Drsnosť povrchu nižšieRa 0,2 μm
Odchýlka rozstupu medzi dierami-k-otvorom±4 μmcez matricu 150 mm x 150 mm
Komponent prešiel testami tesnosti hélia, testovaním účinnosti prenosu tepla a bol prijatý do pilotnej zostavy zákazníka bez prepracovania.
